Гранкин, С.С.; Столбовой, В.А.; Немченко, У.С.; Береснев, В.М.; Соболь, О.В.; Литовченко, С.В.; Турбин, П.В.; Новиков, В.Ю.; Проценко, З.Н.
(Вопросы атомной науки и техники, 2015)
Методом вакуумно-дугового осаждения синтезированы наноструктурированные многослойные покрытия TiN/ZrN c их числом 134…533 и средней толщиной 20…125 нм. Выявлена хорошая планарность получаемых в нанометровом диапазоне слоев ...